[THELEC] 티라유텍, 자동반송 솔루션 MCS 공개

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[THELEC 이기종 기자]

스마트팩토리 업체 티라유텍, 자동반송 솔루션 MCS 공개

반송 장비 제어 시스템 ‘MCS’

[세미콘코리아 2019 전시참가 기업]

스마트팩토리 솔루션 업체 티라유텍이 반도체 자동 반동 솔루션 MCS(Material Control System)를 공개했다. 국제 표준 적용, 통합 사용자 인터페이스 구현으로 사용자가 언제든 반송 상황을 보고 제어할 수 있다.

MCS는 반도체 전 공정의 무인 자동화를 위해 반송 장비를 제어하는 시스템이다. 반송 장비에는 자동창고(Stocker)와 OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Over Head Shuttle), AGV(Automated Guided Vehicle) 등이 있다. 이 솔루션은 국제반도체장비재료협회(SEMI) 표준에 맞춘 인터페이스를 지원한다. 또 자체 알고리즘에 따라 반송할 캐리어의 자동 스케줄링, 사용자의 반송 룰 자체 설정도 가능하다. 웹 기반 통합 관제 사용자 인터페이스를 통해 반송 현황도 언제든 모니터·제어할 수 있다.

티라유텍 MCS는 미국 민관 반도체 연구 컨소시엄 세마텍(SEMATECH) 요구사양도 충족한다. SEMI E82(IB SEM), SEMI E88(Stocker SEM) 등 반도체 물류 장비 사양에 따라 AMHS(Automated Material Handling System)를 제어할 수 있다. 티라유텍이 미국 시장 진출을 노리는 배경이다. 이미 국내 여러 대기업과 중견기업에도 스마트팩토리 솔루션을 공급하면서 노하우를 축적했다.

반도체 팹은 미세공정 영향으로 이미 오래 전 무인화 공정이 자리 잡았고, 주로 자동창고와 OHT 또는 OST를 기반으로 표준화돼 있다. 반도체 팹 외에도 패키지, 테스트 공정 같은 후 공정 자동화도 활발해졌다. 반도체 후 공정은 SEMI에서 규정하지 않은 다양한 물류 장비를 시도하고 있고, 이전에는 속도 문제로 사용을 꺼리던 AGV도 적극 도입하려는 상황이다.